液晶面板6代-11.5代 自動雙折射應(yīng)力測量裝置

產(chǎn)品規(guī)格書

1. 概述

1.1 簡介

ABR-100 系列裝置能夠以 0.01nm 的線性解析度來測量被檢樣品的雙折射系數(shù)?？赏瑫r測量樣品的雙折 射主軸和延遲軸兩個方向。雙折射作為光學(xué)相位差被檢測。

由于通過雙折射測量可以有效地對光學(xué)材料的內(nèi)部應(yīng)力（失真）及聚合物膜的取向特性進行評估，因 此，雙折射測量被廣泛應(yīng)用于材料研究部門以及制造過程中的質(zhì)量管理。

由于配備了標(biāo)準(zhǔn)的用戶友好應(yīng)用程序軟件，因此無需具備專業(yè)知識，任何人都可以很容易地進行 操作。

1.2 特點

◎高速測量

◎高線性解析度

◎高精度?廣域動態(tài)范圍

◎測量位置確認

◎操作簡單

◎最適合質(zhì)量管理

1.3 用途/應(yīng)用實例

◎液晶

?液晶元件

?相位差薄膜

◎半導(dǎo)體

?透鏡、襯底

◎光盤

? CD，DVD 用透明襯底 ? 光頭用部件

◎其他

?大型玻璃塊

?各種塑料透鏡

? 各種光纖預(yù)制棒

約 0.1 秒鐘／測量點（同時測量相位延遲和方位角）

雙折射相位差： 0.01 nm

主軸方位角： 0.1 deg.

激光外差法

可以通過目測來確認測量位置

由用戶友好式的操作畫面和顯示畫面組成

1.4

(1)主要規(guī)格

測量功能 

測量項目 

雙折射相位差:Re(nm)

雙折射相位差：δ(deg.)

主軸方位角：φ(deg.)  

測量范圍*

0～260nm

0～150deg.

0±90 deg.

線性解析度

0.01nm

0.006 deg.

0.1 deg.

重復(fù)精度 (*)

±0.03nm

±0.018deg.

±0.1nm

±0.06 deg.

±0.5deg.

測量時間

約0.1秒鐘／測量點（同時測量相位延遲和方位角）

(*) 測量標(biāo)準(zhǔn)樣品時 : 空氣層  (Re. = 0nm), 測量結(jié)果 (3σ)

(**) 測量標(biāo)準(zhǔn)樣品時 :  1/4波片 (Re.≒158nm), 測量結(jié)果 (3σ)

*測量波長為632.8nm的情況下

(2) 光學(xué)系統(tǒng)

測量原理  

激光外差法   

光源   

He-Ne激光(λ=632.8nm) 輸出功率  2mW  類3B

光束直徑  

φ0.75mm   (1/e2)   

(3) 樣品測量臺

樣品測量臺 

自動  X/Y軸 測量臺

樣品尺寸

Max.1600 x 2000mm

樣品重量

測量范圍

Max.1600 x 2000mm  

測量間隔：25mm間隔

(4) 數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)

硬件PC：  intel Core? i5(CPU)

    軟件

OS : Windows10Pro 64bit

測量模式  ：  Re和φ的測量值

分析模式  ：  Re和φ的曲線，VECTMAP（另售）