一種基板玻璃厚度在線測量儀
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發(fā)布日期:2024-08-14
一種基板玻璃厚度在線測量儀,確保激光測量方式在基板玻璃在線測量的實(shí)現(xiàn)、并能達(dá)到μm級的檢測精度,從而滿足對產(chǎn)品的表面質(zhì)量、光學(xué)特性、厚度公差、平整度、應(yīng)力指標(biāo)的要求;同時對MCV連續(xù)輸送線上的每一片基板玻璃進(jìn)行在線厚度測量,并將測量數(shù)據(jù)通過計算機(jī)網(wǎng)絡(luò)實(shí)時發(fā)送至前工程成型控制工段,及時調(diào)整各相關(guān)控制參數(shù)穩(wěn)定基板玻璃的厚度及玻璃板面的厚薄差。它是由:測厚儀框架,測厚儀主控制柜,顯示器,工控機(jī)主機(jī),鍵盤鼠標(biāo),狀態(tài)指示燈,操作按鈕,MCV運(yùn)載小車,被測基板玻璃,基板穩(wěn)定夾持裝置,激光測量裝置,激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置,激光探頭運(yùn)動裝置,測厚儀可調(diào)節(jié)防震地腳,BOD工段MCV輸送線構(gòu)成。